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產(chǎn)品展示

23系列ALICAT 23系列帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器

公司名稱(chēng)：
更新時(shí)間：
所在地：
生產(chǎn)地址：
瀏覽次數(shù)：

北京朗潤(rùn)達(dá)科貿(mào)有限公司
2017-10-12 21:43:55
北京市
507

【簡(jiǎn)單介紹】

Alicat的23系列質(zhì)量流量控制器是根據(jù)真空涂層和噴濺過(guò)程中所要求快速關(guān)閉功能而設(shè)計(jì)的。一個(gè)啟動(dòng)截止閥是常閉的，并且保證一個(gè)大氣壓下氦氣Z大泄露為1 x 10-9下有效的關(guān)閉。
23系列質(zhì)量流量控制器采用的是與其他alicat產(chǎn)品一樣的層流差壓式技術(shù)。在速度和精度需要計(jì)算時(shí)，23系列所體現(xiàn)的*的精度和響應(yīng)時(shí)間。

【詳細(xì)說(shuō)明】

  Alicat 的23系列可以在響應(yīng)時(shí)間為50-100ms的條件下控制從0.5sccm的小流量到20slpm的大流量-響應(yīng)時(shí)間可以大大的改良你的zui終產(chǎn)品，并且?guī)椭懦`差。
    每個(gè)23系列都是預(yù)先設(shè)定的30種校準(zhǔn)氣體和顯示質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度。Alicat的23系列也可以直接通過(guò)設(shè)備的按鍵或者RS-232來(lái)編程設(shè)定，使用RS-232可以通過(guò)一對(duì)線(xiàn)串聯(lián)zui多26臺(tái)設(shè)備。
    23系列供電電壓為12-30Vdc，單一輸入和輸出暴漏0-5Vdc。0-10Vdc、4-20mA和RS-232（可選PROFIBUS）

特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

·響應(yīng)時(shí)間50-100ms

·量程 0.5sccm-20slpm

· 模擬和數(shù)字通信（可選PROFIBUS）

·30種預(yù)設(shè)定校準(zhǔn)氣體

· 精度±0.8% 的讀數(shù)±0.2% 滿(mǎn)刻度

· 可選高精度±0.4% 的讀數(shù)±0.2% 滿(mǎn)刻度

· 操作量程1%-*

·數(shù)字顯示質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度

·無(wú)預(yù)熱時(shí)間

· 小巧設(shè)計(jì)，方便替換其他設(shè)備

· 保證標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下氦氣zui大泄露1 x 10^-9的氣動(dòng)截止閥

· 終身維修


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