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Adixen 磁懸浮渦輪分子泵

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產(chǎn)品型號(hào)Adixen 磁懸浮渦輪分子泵

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地國外

聯(lián)系方式：吳為查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2015-07-05 00:55:17瀏覽次數(shù)：743次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：21條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：吳為 （銷售經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

阿迪克森磁懸浮渦輪分子泵
五大防腐特性
自動(dòng)平衡系統(tǒng)
嵌入式75加熱系統(tǒng)
5軸控制
惰性氣體吹掃
逆向動(dòng)力密封(適用于ATH400與ATH1300型)
高流量應(yīng)用
緊湊而現(xiàn)代的設(shè)計(jì)

詳細(xì)介紹

磁懸浮渦輪分子泵
ATH-M 系列
阿迪克森磁懸浮渦輪分子泵
五大防腐特性
  • 自動(dòng)平衡系統(tǒng)
  • 嵌入式75加熱系統(tǒng)
  • 5軸控制
  • 惰性氣體吹掃
  • 逆向動(dòng)力密封（適用于ATH400與ATH1300型）
高流量應(yīng)用     
      ATH 400 M, ATH 1300 M,ATH 1600 M ATH2300 and ATH 2800 MT型是專為高壓、高流量的半導(dǎo)體工業(yè)以及其他薄鍍膜工藝而設(shè)計(jì)。
緊湊而現(xiàn)代的設(shè)計(jì)
  • 可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速以優(yōu)化抽氣時(shí)的參數(shù)
  • 高平均*時(shí)間
  • 使用成本低
  • 低噪音低振動(dòng)
  • 無需電池
應(yīng)用
  • 玻璃鍍膜
  • 微處理系統(tǒng)加工
  • 離子束矯正
  • 電子顯微鏡
  • 空間模擬腔
  • 粒子加速器
  • 半導(dǎo)體工藝（刻蝕, CVD, 離子插入）
  • 鍍膜與薄鍍膜工藝
  • 離子銑
  • 以及許多研發(fā)實(shí)驗(yàn)


 

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