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螺桿真空泵
螺桿真空泵它利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時(shí)，相互之間無(wú)磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。
產(chǎn)生和優(yōu)點(diǎn)
目前各種真空泵的發(fā)展愈來(lái)愈受到真空應(yīng)用場(chǎng)合的影響，一般的真空系統(tǒng)無(wú)法滿(mǎn)足清潔無(wú)油及耐腐蝕的要求，因此近年來(lái)干式真空泵市場(chǎng)需求量很大,真空獲得產(chǎn)品已經(jīng)出現(xiàn)更新?lián)Q代的局面,大量的有油真空系統(tǒng)已被無(wú)油清潔的真空系統(tǒng)所代替。國(guó)外幾乎每一家較大的真空公司都生產(chǎn)各種不同型式的干式真空泵.螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵,是20世紀(jì)90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種,以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、抽氣腔元件無(wú)摩擦、壽命長(zhǎng)、能耗低、無(wú)油污染等優(yōu)點(diǎn)。
干式螺桿真空泵由于其*的性能，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)*真空獲得設(shè)備，日本在螺桿壓縮機(jī)基礎(chǔ)上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線，并投入市場(chǎng)。德國(guó)幾家真空設(shè)備公司也逐步的開(kāi)發(fā)出了等螺距、變螺距轉(zhuǎn)子型線，并在轉(zhuǎn)子和機(jī)體冷卻方面做了很多研究。螺桿泵的技術(shù)關(guān)鍵問(wèn)題。中國(guó)企業(yè)在2008年也將螺桿真空泵的生產(chǎn)進(jìn)入批量化生產(chǎn)，在化工制藥等行業(yè)得到很好的應(yīng)用。
主要結(jié)構(gòu)
傳動(dòng)軸連接主動(dòng)轉(zhuǎn)子，通過(guò)同步齒輪帶動(dòng)從動(dòng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，在殼體上開(kāi)有冷卻水通道，用來(lái)冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤(rùn)滑，軸承和殼體內(nèi)部通過(guò)密封件來(lái)密封以達(dá)到無(wú)油的效果。干式螺桿真空泵同無(wú)油螺桿壓縮機(jī)在密封和潤(rùn)滑上結(jié)構(gòu)類(lèi)似，一般真空泵的排氣端用機(jī)械式密封件，進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動(dòng)方式上，目前通用的是直連電機(jī)，用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接，極少數(shù)用皮帶或者傳動(dòng)鏈傳動(dòng)。 等螺距螺桿泵由于無(wú)內(nèi)壓縮過(guò)程，排氣溫度非常高，如冷卻效果不好，會(huì)造成轉(zhuǎn)子和機(jī)殼變形，影響抽氣效果。冷卻機(jī)殼是*的一個(gè)環(huán)節(jié)，水冷是zui常見(jiàn)的方法，在機(jī)殼本體、軸承外側(cè)通冷卻水，可以達(dá)到冷卻殼體進(jìn)而冷卻轉(zhuǎn)子的目的。國(guó)內(nèi)外生產(chǎn)公司概況
1、國(guó)內(nèi)螺桿真空泵的企業(yè)，從2004年起便開(kāi)始進(jìn)行型線與結(jié)構(gòu)性能方面的研究。在2007年國(guó)內(nèi)干式螺桿真空泵的市場(chǎng)基本被國(guó)外廠家占據(jù)的時(shí)候，公司投入大量資金將該產(chǎn)品轉(zhuǎn)入批量化的生產(chǎn)，并得到國(guó)家的大力支持獲得各類(lèi)省級(jí)*科技獎(jiǎng)項(xiàng)和資金。公司生產(chǎn)的LG干式螺桿真空泵極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式/噴射式/水環(huán)式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，在國(guó)內(nèi)各大制藥和化工企業(yè)得到大量應(yīng)用。針對(duì)不同工藝條件，其過(guò)流部件（即轉(zhuǎn)子和泵體等與氣體接觸的部分）均有防腐涂層，包括鎳磷涂層和PTFE兩種。
2、德國(guó)和日本公司在1999年底正式推出的螺桿式無(wú)油壓縮真空泵是一種專(zhuān)門(mén)為工業(yè)應(yīng)用（非半導(dǎo)體應(yīng)用）設(shè)計(jì)的干式泵，它是一種全新的設(shè)計(jì)，是專(zhuān)門(mén)用來(lái)解決工業(yè)應(yīng)用中艱苦的真空問(wèn)題，如粉塵、焦油等。此泵也是采用變螺距轉(zhuǎn)子，有內(nèi)壓縮過(guò)程，泵腔內(nèi)無(wú)軸承和密封，大大降低了故障率，泵腔內(nèi)沒(méi)有內(nèi)部閥門(mén)，因而耐粉塵和焦油能力強(qiáng)，此泵的螺桿采用內(nèi)部中空冷卻，可以降低轉(zhuǎn)子溫度和熱變形，螺桿壽命長(zhǎng)。