會(huì)員1.png)
MSN交談
您所在位置：請(qǐng)輸入產(chǎn)品關(guān)鍵字：
暫無(wú)信息 |
郵編：325105
聯(lián)系人：楊喜樂(lè)
留言：在線留言
商鋪：http://www.mutongjihua.com/st19073/
泵類百科：鈦泵電源和 除氣機(jī)理
點(diǎn)擊次數(shù)：545 發(fā)布時(shí)間：2010-6-26
（1） 對(duì)活性氣體的抽除
對(duì)N2、O2、CO和CO2等氣體的排除主要靠淀積于陽(yáng)極筒內(nèi)壁上的鈦膜的化學(xué)吸附。
（2） 對(duì)氫氣的抽除
對(duì)氫氣的抽除有化學(xué)吸附，也有擴(kuò)散、吸收、溶解作用。
（3） 對(duì)惰性氣體的抽除
對(duì)惰性氣體的排除，主要靠離子“掩埋”，被電離的惰性氣體的離子轟擊陰極時(shí)，有以下三種情況：
a、離子直接打入陰極內(nèi)，或打入陰極邊緣對(duì)面的陽(yáng)極板上的鈦淀積層內(nèi)；
b、斜射的離子切入陰極表面，離子和鈦一起被掀掉而沉積在陰極板的周?chē)蚱渌胤剑?br /> c、離子沒(méi)有打入板內(nèi)，但是從陰極得到電子而復(fù)合為中性原子，然后又反射到陽(yáng)極內(nèi)表面的鈦膜中。
鈦泵電源
鈦泵的電源是高內(nèi)阻電源，其空載輸出電壓在3~7KV間，但負(fù)載電流大時(shí)，輸出電壓降至400V左右。一般濺射離子泵使用5KV倍壓整流電源?？梢杂昧鬟^(guò)鈦泵陰陽(yáng)極的放電電流反映所抽空間的真空度。濺射離子泵在額定電壓與磁場(chǎng)強(qiáng)度下的放電電流Iion（mA）與壓強(qiáng)P（Torr）有一定的曲線關(guān)系。所以通過(guò)離子泵電源可反映出壓強(qiáng)的大小。
下一篇：·浙江永球科技有限公司潛水泵產(chǎn)品導(dǎo)購(gòu) （2010-6-13）
| [1] |