在化工行業(yè)中，傳統(tǒng)的真空泵技術，諸如液環(huán)泵、蒸汽噴射器、直流式油封泵以及它們的組合，一 直被認為是環(huán)境污染的源頭，也會對工藝介質產生污染。蒸汽噴射器和液環(huán)泵都產生被工藝介質污染的水（或油），通常該水需經處理后才能排放；直流式油封泵產生被污染的油，這些油需要后續(xù)的廢液處理或焚燒。而且在傳統(tǒng)的真空泵中，泵中的壓縮空間是 “濕式”環(huán)境，正是腐蝕產生的理想條件。因此，蒸汽噴射器和液環(huán)泵需要在很寬的范圍內選擇制造材料，包括不銹鋼、哈氏合金，甚至石墨和陶瓷。
       近年來，隨著石化行業(yè)裝備水平的提高以及各國對環(huán)保越來越嚴格的要求，逐漸用干式真空系統(tǒng)取代了傳統(tǒng)的濕式系統(tǒng)。干式無油抽真空系統(tǒng)同工藝蒸汽之間互相不污染，工藝蒸汽經干式真空泵壓縮升壓后可以直接去尾氣處理系統(tǒng)，也可以經過一個真空泵出口冷凝器，將氣體回收。