新一代工業(yè)級流量傳感器芯片與氣路結構的wanmei結合 S500系列產品采用公司自主研發(fā)的工業(yè)級流量傳感器芯片，結合低壓損氣路結構以及高速數字處理電路以及溫度補償算法，可以實現最xiao0.1sccm、最da流量范圍內的氣體流量快速控制。每臺產品均經過嚴格溫度補償，在0-50℃內誤差均小于1%。該產品可選配觸摸顯示屏、獨立供電端口，wanmei適配半導體、真空鍍膜、實驗室、光伏、分析儀等各類應用環(huán)境。