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三葉羅茨真空泵概況

　　羅茨真空泵具有二個三葉型轉(zhuǎn)子，通過一對同步反向旋轉(zhuǎn)高精度齒輪驅(qū)動，右圖為轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)120°，完成一次吸、排氣的過程。三葉轉(zhuǎn)子采用漸開線型線，轉(zhuǎn)動時互相不接觸并保持恒定間隙。可與多種前級泵配套，采用風冷或水冷方式和多種密封形式，滿足不同工藝和工況要求。

　　比傳統(tǒng)二葉型羅茨泵在抽氣效率、大允許壓差、溫升、振動、噪聲等關(guān)鍵性能指標上都具有明顯的技術(shù)優(yōu)勢。三葉轉(zhuǎn)子采用高精度齒輪傳動和精密軸承支承，噪聲低、運轉(zhuǎn)更加平穩(wěn)，在低入口壓力下仍具有較大抽氣速率。

主要特點

●轉(zhuǎn)速高、容積率高、溫升低、振動小。

●結(jié)構(gòu)簡單、可靠性好，操作、維護方便。

●轉(zhuǎn)子被鎖緊，無軸向串動現(xiàn)象、故障率更低。

●所有平面靜密封采用O型圈密封，可以反復拆裝。

●主軸采用機械密封，確保泵腔無油和長期無泄漏。

●端蓋密封可采用機械密封、骨架、活塞環(huán)和迷宮密封等多種形式。

應用范圍

　　三葉不能單獨使用，必須與前級真空泵配套使用，配置不同類別的前級泵后，各項性能指標會有所不同。主要應用于需要大抽速和粗、中真空(103~10-2Pa)的真空系統(tǒng)，例如真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗、微電子及集成電路、燈管及燈泡制造、真空包裝、集中抽氣系統(tǒng)、各類化工處理、真空脫汽、真空脫水、真空冷凍干噪、真空蒸餾。

規(guī)格參數(shù)

注：上表各性能是在配用推薦前級泵的條件下獲得的，若視情況選用不同的前級泵，其主要性能指標會有所變化。抽氣速率系指在配用推薦前級泵的條件下，的入口壓力在67pa~2.67pa范圍內(nèi)所測得的zui大抽氣速率。(見性能曲線)極限壓力系指在配用推薦前級泵的條件下，不帶任何附加容器、泵口密閉不進氣，經(jīng)過充分抽氣后用壓縮式真空計在泵進氣口處測得的穩(wěn)定的空氣分壓力的zui低值。